本实用新型涉及一种湿法清洗工艺中的非活性氛围装置，包括：至少一个非活性气体容器，每个容器中容纳一种非活性气体；清洗单元，该清洗单元包括：位于清洗单元上部的风机过滤单元，通过管道与上述至少一个非活性气体容器或空气相连通，用于吸入并过滤非活性气体或空气；位于清洗单元中部的清洗槽；位于清洗单元下侧的排气管，用于将清洗单元内部的气体排出；位于气体管道中的气泵，用于循环利用非活性气体；用于控制非活性氛围装置的控制板。本实用新型可以使清洗单元内部层流气体为非活性气体，从而防止活性较强的金属与空气中的氧气发生氧化反应，同时，保持了清洗单元内的纯气体氛围，从而避免空气中的不纯杂质污染晶片，以及其它非预期反应。