用以存放半导体组件或光罩的存放装置及其过滤装置
专利权的终止
摘要
本实用新型提供一种具有过滤装置的用以存放半导体组件或光罩的存放装置。该存放装置是由第一盖体与第二盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩或半导体组件，此种存放装置的第二盖体设有至少一孔，用以连通该存放装置的内部空间以及外部空间，以及一过滤装置覆盖该孔。
基本信息
专利标题 ：
用以存放半导体组件或光罩的存放装置及其过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720311769.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-12-24
授权号 ：
CN201163616Y
授权日 ：
2008-12-10
发明人 ：
王胜弘
申请人 ：
家登精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省台北县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
周国城
优先权 ：
CN200720311769.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677 B01D46/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2018-01-23 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20071224
授权公告日 : 20081210
申请日 : 20071224
授权公告日 : 20081210
2008-12-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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