一种涂胶显影设备的工艺墙框架，属于半导体晶片涂胶显影技术领域。它是由多个型材构成的立体框架结构，顶架上置有顶板，底架两长边中间安装有底板，顶板和底板之间固定有中间立柱，在中间立柱两侧为对称结构的工艺单元框架模块，所述工艺单元框架模块的结构：是在工艺墙框架顶架和底架的两长边间分别安装有侧柱，两边框立柱及两侧柱上分别安装有侧板，两侧柱上并列安装有多个弧型板，相邻弧型板形成的空间构成晶片进出口，对应每个弧型板在两边框立柱及两侧柱上安装有滑道，该滑道延伸至弧型板的直线段，整个框架形成多个相同空间。本实用新型各工艺单元的活动模块式结构，可以整体拆装。底部的滑轮以减小框架之间的摩擦所带来的灰尘颗粒和划伤。