光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，它包括有真空腔体(10)、电极盒子(20)；真空腔体(10)为可分离式真空腔体，它包括一个位于中段部位的主体部(11)和分别位于两端部位的可分离部(12、13)，主体部(11)和两端的可分离部(12、13)可密闭构成真空腔体，也可在需要装、卸沉积产品时分离开；电极盒子(20)装设在真空腔体主体部(11)内，且在工作中保持与真空腔体主体部(11)相对静止。本实用新型通过移动真空腔体的一部分，来避免电极盒子的运动，避免了电极频繁装卸接触而严重受损；避免了因电极受损而使得射频辉光不稳定进而导致产品合格率降低。此外，它结构简单，降低了制造成本。

基本信息

专利标题：

光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820160180.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-09-28

授权号：

CN201288217Y

授权日：

2009-08-12

发明人：

奚建平周子彬

申请人：

奚建平

申请人地址：

215163江苏省苏州市苏州高新区东渚镇下许桥北苏州思博露公司

代理机构：

苏州市新苏专利事务所有限公司

代理人：

许鸣石

优先权：

CN200820160180.X

主分类号：

C23C16/54

IPC分类号：

C23C16/54 C23C16/44

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C16/00

通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺

C23C16/44

以镀覆方法为特征的

C23C16/54

连续镀覆的专用设备

法律状态

2015-11-11 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101633303707
IPC(主分类) : C23C 16/54
专利号 : ZL200820160180X
申请日 : 20080928
授权公告日 : 20090812
终止日期 : 20140928

2012-05-16 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101352926825
IPC(主分类) : C23C 16/54
专利号 : ZL200820160180X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 奚建平
变更后权利人 : 苏州思博露光伏能源科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215163 江苏省苏州市苏州高新区东渚镇下许桥北苏州思博露公司
变更后权利人 : 215163 江苏省苏州市高新区通安昆仑山路189号2号厂房
登记生效日 : 20120405

2011-12-21 ：

专利权的保全及其解除

专利权保全的解除号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101239706561
IPC(主分类) : C23C 16/54
专利号 : ZL200820160180X
申请日 : 20080928
授权公告日 : 20090812
登记生效日 : 无
解除日 : 20111103

2010-09-29 ：

专利权的保全及其解除

专利权的保全号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101007978455
IPC(主分类) : C23C 16/54
专利号 : ZL200820160180X
申请日 : 20080928
授权公告日 : 20090812
登记生效日 : 20100812
解除日 : 无

2009-08-12 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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