具有减少聚合物沉积特性的等离子约束环组件
授权
摘要
提供了包括约束环的等离子约束环组件，这些约束环适于在环的暴露到等离子的表面上达到足够高的温度来避免这些表面上的聚合物沉积。等离子约束环包括适于将加热局限在环的包括暴露到等离子的表面的所选部分处的热阻器。热阻器减少从这些部分到环的其它部分的热传导，这使得这些环的所选部分在等离子处理期间达到期望的温度。
基本信息
专利标题 ：
具有减少聚合物沉积特性的等离子约束环组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN102867726A
申请号 ：
CN201210276251.3
公开（公告）日 ：
2013-01-09
申请日 ：
2006-03-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
R·丁德萨F·科扎克维奇J·H·罗杰斯D·特拉塞尔
申请人 ：
兰姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海胜康律师事务所
代理人 ：
李献忠
优先权 ：
CN201210276251.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2015-07-08 ：
授权
2013-02-20 ：
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101397923939
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2012102762513
申请日 : 20060315
号牌文件序号 : 101397923939
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2012102762513
申请日 : 20060315
2013-01-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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