高可靠性的蚀刻小面光子器件

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摘要

本发明公开了高可靠性的蚀刻小面光子器件。半导体光子器件表面被覆盖以电介质或金属保护层。保护层覆盖整个器件，包括在有源区小面附近的区域，以保护裸露或未经保护的半导体区，由此形成非常高可靠性蚀刻小面的光子器件。

基本信息

专利标题：

高可靠性的蚀刻小面光子器件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN105207053A

申请号：

CN201510541116.0

公开（公告）日：

2015-12-30

申请日：

2006-02-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

A·A·贝希尔

申请人：

宾奥普迪克斯股份有限公司

申请人地址：

美国纽约州

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

李玲

优先权：

CN201510541116.0

主分类号：

H01S5/028

IPC分类号：

H01S5/028 H01S5/22

法律状态

2019-06-04 ：

授权

2016-11-23 ：

著录事项变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101742011742
IPC(主分类) : H01S 5/028
专利申请号 : 2015105411160
变更事项 : 申请人
变更前 : MACOM技术解决方案控股有限公司
变更后 : 镁可微波技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国马萨诸塞州

2016-09-21 ：

著录事项变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101739085768
IPC(主分类) : H01S 5/028
专利申请号 : 2015105411160
变更事项 : 申请人
变更前 : M/A-COM技术解决方案控股有限公司
变更后 : MACOM技术解决方案控股有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国马萨诸塞州

2016-09-21 ：

专利申请权、专利权的转移

专利申请权的转移IPC(主分类) : H01S 5/028
专利申请号 : 2015105411160
登记生效日 : 20160829
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 宾奥普迪克斯有限责任公司
变更后权利人 : M/A-COM技术解决方案控股有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国马萨诸塞州
变更后权利人 : 美国马萨诸塞州
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101739085767

2016-08-31 ：

著录事项变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101738318308
IPC(主分类) : H01S 5/028
专利申请号 : 2015105411160
变更事项 : 申请人
变更前 : 宾奥普迪克斯股份有限公司
变更后 : 宾奥普迪克斯有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国马萨诸塞州

2016-08-03 ：

著录事项变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101736726863
IPC(主分类) : H01S 5/028
专利申请号 : 2015105411160
变更事项 : 申请人
变更前 : 宾奥普迪克斯股份有限公司
变更后 : 宾奥普迪克斯股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国纽约州
变更后 : 美国马萨诸塞州

2016-01-27 ：

实质审查的生效

号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101643920866
IPC(主分类) : H01S 5/028
专利申请号 : 2015105411160
申请日 : 20060217

2015-12-30 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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