一种图案化的金属导线和基板的组合
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摘要
一种图案化的金属导线和基板的组合，所述基板具有在其上形成的所述金属导线，所述金属导线包括：包含铟和锌的氧化物层；以及铜基层，设置在所述包含铟和锌的氧化物层之上或之下，其中，所述包含铟和锌的氧化物层的氧化锌量等于或高于按重量计10％并且低于按重量计约35％。用于蚀刻铜基配线层的湿法蚀刻组合物，包含按重量计约40％至按重量计约60％之间的磷酸、按重量计约1％至按重量计约10％之间的硝酸、按重量计约3％至按重量计约15％之间的乙酸、按重量计约0.01％至按重量计约0.1％之间的铜离子化合物、按重量计约1％至按重量计约10％之间的硝酸盐、按重量计约1％至按重量计约10％之间的乙酸盐，和余量的水。
基本信息
专利标题 ：
一种图案化的金属导线和基板的组合
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108054176A
申请号 ：
CN201810026111.8
公开（公告）日 ：
2018-05-18
申请日 ：
2013-06-26
授权号 ：
CN108054176B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
朴弘植李旺宇金俸均郑钟铉林永祐金奎布徐源国申贤哲韩筵昊李骐范曹三永
申请人 ：
三星显示有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京德琦知识产权代理有限公司
代理人 ：
周丹
优先权 ：
CN201810026111.8
主分类号 ：
H01L27/12
IPC分类号 ：
H01L27/12 H01L29/45 H01L29/49 H01L29/786 H05K1/09 H05K3/06
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2018-06-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/12
申请日 : 20130626
申请日 : 20130626
2018-05-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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