研磨垫
授权
摘要
提供研磨垫,该研磨垫向该研磨垫与被加工物之间适当地提供研磨液。一种研磨垫,其是被安装于研磨装置的研磨单元上的圆板状的研磨垫,该研磨装置具有:保持工作台,其对被加工物进行保持;以及该研磨单元,其对保持于该保持工作台的被加工物进行研磨,该研磨垫的特征在于,具有:研磨液提供路,其在厚度方向上贯通该研磨垫的中央部;槽,其形成在该研磨垫的与该被加工物接触的面上,并且到达该研磨液提供路;以及塞状部件,其以封堵该研磨液提供路的方式配设,具有在该厚度方向上贯通的多个孔。
基本信息
专利标题 :
研磨垫
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109420975A
申请号 :
CN201810933853.9
公开(公告)日 :
2019-03-05
申请日 :
2018-08-16
授权号 :
CN109420975B
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
木村泰一朗井上雄贵铃木孝雅绪方将士
申请人 :
株式会社迪思科
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
于靖帅
优先权 :
CN201810933853.9
主分类号 :
B24B37/26
IPC分类号 :
B24B37/26 B24B37/34 B24B57/02
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/11
研具
B24B37/20
用于加工平面的研磨垫
B24B37/26
以研磨垫表面的形状为特征,如带有槽的
法律状态
2022-05-10 :
授权
2020-08-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/26
申请日 : 20180816
申请日 : 20180816
2019-03-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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