提供研磨垫，该研磨垫向该研磨垫与被加工物之间适当地提供研磨液。一种研磨垫，其是被安装于研磨装置的研磨单元上的圆板状的研磨垫，该研磨装置具有：保持工作台，其对被加工物进行保持；以及该研磨单元，其对保持于该保持工作台的被加工物进行研磨，该研磨垫的特征在于，具有：研磨液提供路，其在厚度方向上贯通该研磨垫的中央部；槽，其形成在该研磨垫的与该被加工物接触的面上，并且到达该研磨液提供路；以及塞状部件，其以封堵该研磨液提供路的方式配设，具有在该厚度方向上贯通的多个孔。