研磨垫及其制造方法
公开
摘要
本发明在被研磨物的研磨加工时防止终点检测用窗自研磨层脱落。具有终点检测用窗3B的研磨层3C如以下那样制造。首先，将成为终点检测用窗的聚合物与硬化剂混合后，使两者的混合物流入模具99中来制作柱状原材料100(图4(a))。其次，调整柱状原材料100的外周面的粗糙度，在外周面形成多个凹凸(图4(b))。继而，在将柱状原材料100收容于模框101内的状态下，使将预聚物与硬化剂混合而成的混合物流入模框101中并凝固，而制作聚氨基甲酸酯聚脲树脂成形体102(图4(c))。继而，若将聚氨基甲酸酯聚脲树脂成形体102以成为所需的厚度的方式水平地切断来制作片状构件103，则所述片状构件103成为具有终点检测用窗(3B)的研磨层(3C)(图4(d))。
基本信息
专利标题 ：
研磨垫及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114450126A
申请号 ：
CN202080067955.2
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
松冈立马栗原浩鸣岛早月高见沢大和
申请人 ：
富士纺控股株式会社
申请人地址 ：
日本东京中央区日本桥人形町1丁目18番12号(邮递区号:103-0013)
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
谢百韬
优先权 ：
CN202080067955.2
主分类号 ：
B24B37/22
IPC分类号 ：
B24B37/22 B24B37/26 B24B37/013 H01L21/304
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/11
研具
B24B37/20
用于加工平面的研磨垫
B24B37/22
以多层结构为特征
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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