晶圆盒仓储系统
授权
摘要
一种晶圆盒仓储系统,包括;一架体,周边环绕设有数个层叠式盒架,而各盒架各为一个具有对应坐标的晶圆盒的储位,并于各盒架中择一做为入仓盒架且择一做为出仓盒架或仅择一做为入仓/出仓共享盒架;一升降装置,设置于架体,而朝向架体内部具有一升降台;一平面三轴机器人,设置于架体内部,而将一基座设置于该升降台,基座设有一上臂与一上臂旋转马达,上臂设有一前臂与一前臂旋转马达,前臂设有一腕部牙叉与一腕部牙叉旋转马达;一操控单元,设置于架体,而将一人机接口设置于架体外侧,而控制升降装置与平面三轴机器人进行晶圆盒的入仓或出仓。本发明具有提升晶圆盒储置空间比率的功效。
基本信息
专利标题 :
晶圆盒仓储系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110884813A
申请号 :
CN201811072380.4
公开(公告)日 :
2020-03-17
申请日 :
2018-09-14
授权号 :
CN110884813B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
游兆胜简呈儒刘于漩谢政达
申请人 :
迅得机械股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾桃园市中坜区荣民路421号
代理机构 :
天津三元专利商标代理有限责任公司
代理人 :
郑永康
优先权 :
CN201811072380.4
主分类号 :
B65G1/04
IPC分类号 :
B65G1/04
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G1/00
在仓库或库房内贮存单个的或顺序布置的物件
B65G1/02
贮存装置
B65G1/04
机械的
法律状态
2022-06-07 :
授权
2020-05-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 1/04
申请日 : 20180914
申请日 : 20180914
2020-03-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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