用于形成喷墨喷嘴腔室的方法
授权
摘要
提供一种用于在晶圆衬底的前侧表面上限定的孔上方形成喷墨腔室的方法。所述方法包括以下步骤：(i)将干膜光致抗蚀剂层叠层到所述前侧表面上；(ii)在所述干膜光致抗蚀剂中限定与腔室壁对应的壁开口；(iii)将腔室材料沉积到所述壁开口中和所述干膜光致抗蚀剂上方，以便形成腔室壁和腔室顶部；(iv)在所述腔室顶部中限定喷嘴开口；以及(v)移除所述干膜光致抗蚀剂，以在所述孔上方形成所述喷墨腔室。
基本信息
专利标题 ：
用于形成喷墨喷嘴腔室的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111655494A
申请号 ：
CN201880072892.2
公开（公告）日 ：
2020-09-11
申请日 ：
2018-11-14
授权号 ：
CN111655494B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
安格斯·诺斯马修·沃克
申请人 ：
马姆杰特科技有限公司
申请人地址 ：
爱尔兰都柏林
代理机构 ：
北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人 ：
张华卿
优先权 ：
CN201880072892.2
主分类号 ：
B41J2/16
IPC分类号 ：
B41J2/16
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B41
印刷；排版机；打字机；模印机
B41J
打字机；选择性印刷机构，即不用印刷的印刷机构；排版错误的修正标记的记录载体入G06K；免费证或票券印刷及发行设备入G07B；电键式开关一般入H01H13/70，H03K17/94；与键盘或类似装置相关的编码一般入H03M11/00；传递数字信息的接收或发送机入H04L；文件或
B41J2/00
以打印或标记工艺为特征而设计的打字机或选择性印刷机构
B41J2/005
特征在于使液体或粉粒有选择地与印刷材料接触
B41J2/01
油墨喷射
B41J2/135
喷嘴
B41J2/16
喷嘴的制造
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2020-12-11 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B41J 2/16
申请日 : 20181114
申请日 : 20181114
2020-09-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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