用于工艺腔室的装置
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摘要
本文所述的实施方式涉及用于工艺腔室中的机械隔离和热绝缘的装置和技术，具体为一种用于工艺腔室的装置。在一个实施方式中，绝缘层被设置在圆顶组件和气体环之间。绝缘层被配置以维持圆顶组件的温度并且防止从圆顶组件到气体环的热能传递。绝缘层提供圆顶组件与气体环的机械隔离。绝缘层还在圆顶组件和气体环之间提供热绝缘。绝缘层可由含聚酰亚胺的材料制成，所述材料大幅地降低绝缘层变形的发生。
基本信息
专利标题 ：
用于工艺腔室的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922220608.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-09
授权号 ：
CN212389950U
授权日 ：
2021-01-22
发明人 ：
L·布恩卡特Y·杨R·乔德里A·坎古德
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN201922220608.6
主分类号 ：
F16L59/02
IPC分类号 ：
F16L59/02 F16L59/04
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L59/00
一般的绝热
F16L59/02
绝热材料的形状或形式，有或没有和绝热材料成一体的覆盖
法律状态
2021-01-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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