一种工艺腔及用于腔室的位置检测装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种工艺腔及用于腔室的位置检测装置，该位置检测装置包括发射件、传送件、保护件和接收件，发射件发出的光线能够经由传送件被接收件接收。接收件与发射件相对设置，保护件与传送件连接；该工艺腔包括多个该位置检测装置在工作过程中，腔室内部的游离金属离子沉积在保护件上，减少了金属离子在传送件的沉积，有效地保护了传送件，延长传送件的维护周期，延长了位置检测装置的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种工艺腔及用于腔室的位置检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920454300.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-04
授权号 ：
CN209766370U
授权日 ：
2019-12-10
发明人 ：
李楠高军召
申请人 ：
北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920454300.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677 H01L21/68 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-09-14 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20210901
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳正粤开发建设有限公司
变更后权利人 : 上海祖强能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518054 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
变更后权利人 : 201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路665号三层
登记生效日 : 20210901
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳正粤开发建设有限公司
变更后权利人 : 上海祖强能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518054 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
变更后权利人 : 201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路665号三层
2021-04-16 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20210402
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京顶荣光伏科技有限公司
变更后权利人 : 深圳正粤开发建设有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
变更后权利人 : 518054 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
登记生效日 : 20210402
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京顶荣光伏科技有限公司
变更后权利人 : 深圳正粤开发建设有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
变更后权利人 : 518054 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
2021-04-16 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
变更后 : 北京顶荣光伏科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
变更后 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
变更后 : 北京顶荣光伏科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
变更后 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
2019-12-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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