本实用新型公开了一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，该真空基片夹具包括真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；每个真空吸附结构下端连接有抽真空结构；每组真空吸附结构包括沿载物台厚度方向设置的M个第一真空孔，第一真空孔为通孔；相邻的第一真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；还包括设在载物台上可拆卸的辅助装置；该辅助装置上设有与第一真空孔连通的第二真空孔；基片覆盖在第二真空孔之上；辅助装置上端与基片紧密贴合，辅助装置下端与载物台紧密贴合。该夹具不仅便于调整基片位置、而且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。