一种石英晶体掩膜电极工装夹具
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种石英晶体掩膜电极工装夹具,包括下掩膜板,所述下掩膜板的顶部外壁靠接有上掩膜板,且下掩膜板的顶部外壁开设有等距离分布的放置槽,所述上掩膜板底部外壁与放置槽对应的位置开设有卡槽,且卡槽与放置槽相匹配,所述放置槽和卡槽的两侧内壁均开设有滑槽,且滑槽的一侧内壁焊接有水平放置的第一弹簧,所述第一弹簧的一端外壁通过螺栓安装有压板。下掩膜板和上掩膜板均设置成圆盘状结构,下掩膜板和上掩膜板之间的外围利用限位环和环状的限位槽连接,从而增加下掩膜板和上掩膜板之间的密封性,避免镀膜电极用的浆液从下掩膜板和上掩膜板之间的空隙进入,防止影响晶体片镀膜电极的质量。
基本信息
专利标题 :
一种石英晶体掩膜电极工装夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920535542.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-19
授权号 :
CN209982453U
授权日 :
2020-01-21
发明人 :
张斌
申请人 :
浙江蓝晶芯微电子有限公司
申请人地址 :
浙江省金华市兰溪经济开发区江南高新园区致远路85号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920535542.7
主分类号 :
H03H3/02
IPC分类号 :
H03H3/02 C23C14/04
法律状态
2021-03-30 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20190419
授权公告日 : 20200121
终止日期 : 20200419
申请日 : 20190419
授权公告日 : 20200121
终止日期 : 20200419
2020-01-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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