一种用于原子层沉积和等离子体修饰粉体表面的装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开一种用于原子层沉积和等离子体修饰粉体表面的装置,包括进气斗、底盖和多孔板,所述进气斗的两端分别设有进气口和出气口,进气口和出气口之间形成进气通道,进气通道呈两端大中间小的形状,底盖与进气斗靠近出气口的一端连接,多孔板位于底盖内,多孔板与底盖和出气口之间形成搅拌腔,多孔板具有多个通孔,多个通孔分别与搅拌腔和外界连通,多孔板上设有粉体材料,粉体材料的粒径大于通孔的孔径。本实用新型用于原子层沉积和等离子体修饰粉体表面的装置,通过进气管道宽度的设置,控制气体的流速,不仅可以在真空体系下修饰粉体材料,而且可以实现气体对粉体材料的搅拌,提高气体的利用率,同时达到对粉体材料均匀处理的目的。
基本信息
专利标题 :
一种用于原子层沉积和等离子体修饰粉体表面的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920547234.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-22
授权号 :
CN209848857U
授权日 :
2019-12-27
发明人 :
郭大营朱梦琦马圣铭
申请人 :
中山大学
申请人地址 :
广东省广州市海珠区新港西路135号
代理机构 :
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 :
官国鹏
优先权 :
CN201920547234.6
主分类号 :
B01J8/10
IPC分类号 :
B01J8/10
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法,例如,催化作用或胶体化学;其有关设备
B01J8/00
在有流体和固体颗粒的情况下所进行的一般化学或物理的方法;这些方法所用的装置
B01J8/08
用运动颗粒
B01J8/10
被搅拌器或旋转鼓或旋转容器所带动
法律状态
2022-02-22 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B01J 8/10
登记生效日 : 20220209
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中山大学
变更后权利人 : 苏州源起材料科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
变更后权利人 : 215123 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12栋4楼401-165
登记生效日 : 20220209
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中山大学
变更后权利人 : 苏州源起材料科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
变更后权利人 : 215123 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12栋4楼401-165
2019-12-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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