溅射台托盘对准转移装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种溅射台托盘对准转移装置，其包括夹具操作装置、溅射台托盘以及能对准夹具；在对准夹具上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，通过压紧夹爪能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧；在溅射台托盘上设置若干弹性压紧机构，对准夹具套置在溅射台托盘上后，利用弹性压紧机构能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧，以将处于对准状态的衬底与掩膜板转移至溅射台托盘上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪张开时，能将溅射台托盘从对准夹具内移出。本实用新型结构紧凑，能保证溅射台托盘在转移过程中衬底与掩膜板间不会发生位移，能避免对衬底以及溅射台真空腔体造成污染，使用方便，安全可靠。

基本信息

专利标题：

溅射台托盘对准转移装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920681758.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-14

授权号：

CN210102878U

授权日：

2020-02-21

发明人：

王云翔冒薇段仲伟马冬月许爱玲李晓帅

申请人：

苏州美图半导体技术有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7-506

代理机构：

南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

苗建

优先权：

CN201920681758.4

主分类号：

B65G47/90

IPC分类号：

B65G47/90