全自动真空共晶设备

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摘要

本实用新型公开一种全自动真空共晶设备，包括机架、安装于机架上用于运送待加工板材的进板装置、用于对板材进行抽真空并充氮气的抽真空充氮装置以及用于将板材由抽真空充氮装置处运出的出板装置；该进板装置、抽真空充氮装置和出板装置依次相连。该共晶设备具有独立温区，阶梯式加热，精确控温，延长了产品使用寿命；并且采用流动式送料，移动平稳无噪声，板材上料和下料自动化，减少了人工劳动量，共晶效率高。并对板材抽真空充氮气，密封性好，可使晶体和板材结合更紧密，无氧化现象，提高了产品质量。

基本信息

专利标题：

全自动真空共晶设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920730866.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-21

授权号：

CN210429866U

授权日：

2020-04-28

发明人：

秦启洋欧昌荣赵轶

申请人：

秦启洋;欧昌荣;赵轶

申请人地址：

湖南省永州市新田县茂家乡茂家村2组

代理机构：

厦门市新华专利商标代理有限公司

代理人：

周黎阳

优先权：

CN201920730866.6

主分类号：

H01L33/48

IPC分类号：

H01L33/48