自动共晶机

授权

摘要

本申请提供了一种自动共晶机，包括机架；晶圆台；进料机构；出料机构；送晶机构；共晶轨道机构，包括具有滑槽的加热导轨、铺设于滑槽中的加热块、盖于滑槽上的盖板和用于向滑槽中充入氮气的氮气管，盖板与加热块之间具有滑道，盖板上设有固晶开口；以及，压持机构，用于将固晶开口处露出的支架带抵压于加热块上。设置滑道以引导支架带移动，在滑道中铺设加热块，可以控制加热支架带的温度曲线，提升共晶效果；在滑道中充入氮气，不仅在共晶时，可以保护芯片，而且共晶后仍然可以保护芯片一段时间，更好的防止氧化；设置压持机构抵压支架带，可以更好的避免支架带弹性变形，以使芯片更平稳安放在支架带的固晶位上，以保证共晶质量。

基本信息

专利标题：

自动共晶机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021894921.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-02

授权号：

CN212810245U

授权日：

2021-03-26

发明人：

胡新荣

申请人：

深圳新益昌科技股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋

代理机构：

深圳中一联合知识产权代理有限公司

代理人：

徐汉华

优先权：

CN202021894921.4

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67