一种半导体芯片用自动共晶机
实质审查的生效
摘要

本发明涉及共晶机技术领域,具体是一种半导体芯片用自动共晶机,包括设备机台,设备机台上设置有:作业载台,架设于设备机台的载面上,作业载台上设置有共晶内框;调节机架,安装于设备机台的载面上并且设置于作业载台的外围,调节机架上设置有位移模组,位移模组上安装有共晶器件,共晶器件上设置有可伸缩的共晶枪;共晶载架,设置于共晶内框的内腔,共晶载架设置于共晶内框的内腔,共晶载架包括支撑载板,以及分别于支撑载板相对接的升温机件和供气机件,芯片装载于支撑载板上,升温机件的加热端位于芯片的共晶区域,供气机件用以提供惰性气体。本发明能够实现灵活而且稳定的温度控制,并且在共晶过程中作防氧化保护,达到高良品率产品要求。

基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片用自动共晶机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114429927A
申请号 :
CN202210091651.0
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2022-01-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
凌涵君梁帅
申请人 :
深圳市锐博自动化设备有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区石岩街道塘头社区塘头南岗第三工业园11栋三层(C区)
代理机构 :
深圳市洪荒之力专利代理有限公司
代理人 :
刘真
优先权 :
CN202210091651.0
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/60  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20220126
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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