一种直流磁控溅射镀膜电源快速可靠助燃电路

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摘要

本实用新型属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种直流磁控溅射镀膜电源快速可靠助燃电路，通过增加助燃电路，助燃电路输出的电压叠加上高频逆变开关电源的高频整流桥输出的电压，以达到助燃启辉电压的幅值，当启辉成功后，直流磁控溅射电源输出电流超过启辉成功判断阈值，或者直流磁控溅射电源输出电压低于主电源空载电压判断阈值，助燃电路停止工作，这时直流磁控溅射工艺需要的电压和电流由直流磁控溅射电源的主电路供给；一但辉光熄灭，助燃电路启动输出，电源的输出电压又达到助燃启辉电压的幅值，确保镀膜工艺连续性；减小电弧能量，提高镀膜质量。

基本信息

专利标题：

一种直流磁控溅射镀膜电源快速可靠助燃电路

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920760742.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-24

授权号：

CN210608955U

授权日：

2020-05-22

发明人：

李民久陈庆川蒲世豪贺岩斌姜亚南熊涛黄雨邵斌

申请人：

核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司

申请人地址：

四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号

代理机构：

核工业专利中心

代理人：

刘昕宇

优先权：

CN201920760742.2

主分类号：

H02M7/5387

IPC分类号：

H02M7/5387 H02M1/08