一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路
授权
摘要
本实用新型公开了一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路,包括:单片机控制系统、负载异常保护电路、占空比控制电路、逻辑开关转换电路、IGBT过流和限流保护电路、光耦隔离IGBT桥式驱动电路、主回路电路。本实用新型可方便进行键盘控制屏幕显示的人机交互操作;可对外实现计算机、PLC远程通信和控制;具有由单片机完成的恒压、恒流、恒功率控制等多项功能;通过多重隔离手段提高了本新型电路抗干扰性能和防电冲击性能;通过分级保护措施提高了本新型电路运行安全性,通过双引入电路方式实施打火/短路保护全覆盖,以及通过采用新型非晶变压器材料缩小变压器体积,降低温升和损耗,减少绕组匝数,适应更高的工作频率需要。
基本信息
专利标题 :
一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921879059.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-01
授权号 :
CN211207125U
授权日 :
2020-08-07
发明人 :
梁隽颖
申请人 :
梁隽颖
申请人地址 :
广东省肇庆市端州区明珠路新区6栋702房
代理机构 :
深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
谢肖雄
优先权 :
CN201921879059.7
主分类号 :
G05B19/042
IPC分类号 :
G05B19/042
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05B
一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/04
除数字控制外的程序控制,即顺序控制器或逻辑控制器
G05B19/042
使用数字处理装置
法律状态
2020-08-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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