一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀、主真空室和副真空室，所述插板阀设在主真空室和副真空室之间用于控制二者通断，所述主真空室和副真空室与插板阀相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔，所述通孔周围设有主真空室和/或副真空室的侧壁连接部，所述主真空室和/或副真空室与插板阀之间不设置连接法兰，所述主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接。本实用新型还公开了一种离子束加工系统，所述离子束加工系统采用了上述的带插板阀的紧凑型真空室结构。本实用新型的真空室结构和离子束加工系统具有连接距离较短、成本低、结构紧凑、外形简洁美观等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920760966.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-24
授权号 ：
CN210110701U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
陶尚其他发明人请求不公开姓名
申请人 ：
长沙埃福思科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市开福区青竹湖路118号金卓产业园7栋
代理机构 ：
长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨斌
优先权 ：
CN201920760966.3
主分类号 ：
H01J37/18
IPC分类号 ：
H01J37/18 H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/18
真空锁
法律状态
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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