一种用于显影机的晶圆收纳装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及晶圆收纳装置技术领域,具体为一种用于显影机的晶圆收纳装置,包括晶圆本体,晶圆本体的底部外侧设置有收纳装置,收纳装置包括固定座,固定座的一侧设置有左护座,固定座的另一侧设置有右护座,固定座的顶端外侧对称设置有卡座,卡座的内侧连接有限位板,左护座的顶端两侧设有凸块,凸块的顶端外侧设有圆环,圆环的内侧开设有若干第一齿槽。本实用新型通过将晶圆放置在固定座和左右护座围起来的空间内,使其稳固放置,避免受损受污染;通过向外拉动卡座,再转动左右护座调整其角度,使其适配大小尺寸的晶圆,避免占用空间。

基本信息
专利标题 :
一种用于显影机的晶圆收纳装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920815647.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-31
授权号 :
CN210129098U
授权日 :
2020-03-06
发明人 :
孙国标凌永康杜良辉
申请人 :
江苏壹度科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省镇江市开发区崇明西路102号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920815647.8
主分类号 :
G03F7/30
IPC分类号 :
G03F7/30  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2021-09-28 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G03F 7/30
登记生效日 : 20210915
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 江苏壹度科技股份有限公司
变更后权利人 : 江苏晶度半导体科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214000 江苏省镇江市开发区崇明西路102号
变更后权利人 : 212000 江苏省镇江市句容市开发区崇明西路102号8号楼
2020-03-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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