一种循环式扫描曝光机
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型涉及光学设备领域,解决现有工件曝光设备曝光效率低的问题。本申请公开了一种循环式扫描曝光机,包括有底座,设置在底座上的曝光台,以及曝光装置,曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构,曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置移动的曝光装置驱动机构;底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。左供料机构和右供料机构可以同时把工件托起准备曝光,当左边的工件曝光完毕,曝光装置移动到右边的工件直接进行曝光,同时左边的供料机构把曝光的工件传送出料,再把左边支撑柱组件上未曝光的工件传送托起准备曝光,依次循环;传感器用于检测工件是否弯曲,从而剔除不合格的工件;从而曝光效率高,不需要有上料等待时间。

基本信息
专利标题 :
一种循环式扫描曝光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920922491.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-19
授权号 :
CN210005856U
授权日 :
2020-01-31
发明人 :
蔡志国张米好江俊龙农远峰
申请人 :
深圳凯世光研股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区西乡兴业路3012号老兵大厦西座二楼
代理机构 :
深圳市千纳专利代理有限公司
代理人 :
刘洋
优先权 :
CN201920922491.3
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-03 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : G03F 7/20
登记号 : Y2022980005703
登记生效日 : 20220517
出质人 : 深圳凯世光研股份有限公司
质权人 : 江苏银行股份有限公司深圳分行
实用新型名称 : 一种循环式扫描曝光机
申请日 : 20190619
授权公告日 : 20200131
2022-05-31 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的注销IPC(主分类) : G03F 7/20
授权公告日 : 20200131
申请日 : 20190619
登记号 : Y2021980003668
出质人 : 深圳凯世光研股份有限公司
质权人 : 江苏银行股份有限公司深圳分行
解除日 : 20220513
2021-06-01 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : G03F 7/20
登记号 : Y2021980003668
登记生效日 : 20210517
出质人 : 深圳凯世光研股份有限公司
质权人 : 江苏银行股份有限公司深圳分行
实用新型名称 : 一种循环式扫描曝光机
申请日 : 20190619
授权公告日 : 20200131
2020-01-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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