融入针板结构的高精度载板装置
授权
摘要
本实用新型旨在提供一种结构简单、实用性强、测试精度高并且能适用于针点距离小的芯片产品测试的融入针板结构的高精度载板装置。本实用新型包括基座以及适配安装在所述基座上的定位组件，所述基座上设有活动腔及设于所述活动腔内的针板组件，所述定位组件上设有定位槽及滑动配合在所述定位组件上的推块，所述定位组件的内部设有配合设置在所述针板组件上方的载板，所述推块和所述载板均与所述定位槽相配合设置。本实用新型应用于芯片测试的技术领域。
基本信息
专利标题 ：
融入针板结构的高精度载板装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920993060.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN209859935U
授权日 ：
2019-12-27
发明人 ：
朱彦飞郗旭斌
申请人 ：
珠海市运泰利自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市斗门区新青科技工业园内B型厂房
代理机构 ：
广州市红荔专利代理有限公司
代理人 ：
王贤义
优先权 ：
CN201920993060.6
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2019-12-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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