一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置
授权
摘要
本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置，波导组件包括波导本体，波导本体用于布置在调配器和模式转换器之间以传导微波；波导本体的外侧壁上开设有冷却液槽，冷却液槽上密封安装有槽盖板以形成冷却液腔，波导组件还包括与冷却液腔连通的冷却液进口和冷却液出口，通过在冷却液腔内注入冷却液以对波导本体进行冷却。温度较低的波导本体可以通过热传递的方式对调配器进行降温，确保调配器保持较高的工作性能，同时也就使得使用该波导组件的微波等离子体化学气相沉积装置保持较高的工作性能。
基本信息
专利标题 ：
一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920997386.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN210529058U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
吴啸范波郭兴星徐帅
申请人 ：
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市高新区梧桐街121号
代理机构 ：
郑州睿信知识产权代理有限公司
代理人 ：
贾东东
优先权 ：
CN201920997386.6
主分类号 ：
C23C16/511
IPC分类号 ：
C23C16/511 C23C16/27 H01P3/12 H01P1/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
C23C16/511
采用微波放电
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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