本实用新型涉及微波等离子体气相沉积技术领域，具体涉及一种微波射频等离子体化学气相沉积装置，包括腔体，所述腔体从上至下依次设置有：电离部，包括电离腔和从上到下依次设置于电离腔顶部的点火装置、进气口和压缩形波导管；气相沉积部，包括气相沉积腔和绕设于气相沉积腔外壁的射频线圈；取放样部，包括取放样腔，所述取放样腔设置有取放样窗口；基台，升降设置于所述腔体内。本实用新型的装置通过设置压缩形波导管配合射频点火装置使反应气体产生电感耦合等离子体效应形成等离体子火炬，并且利用射频线圈来提高等离子体火炬的温度，极大的降低了化学气相沉积生长金刚石过程中的能量消耗，极大的提升了金刚石的生长速率。