一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉
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摘要
本实用新型公开了一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理。
基本信息
专利标题 ：
一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921136235.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-19
授权号 ：
CN210458361U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
冷春艳
申请人 ：
冷春艳
申请人地址 ：
吉林省长春市朝阳区隆礼路34号
代理机构 ：
深圳市宾亚知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘晶
优先权 ：
CN201921136235.8
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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