一种用于晶体生长的称量装置
授权
摘要

本实用新型提出的一种用于晶体生长的称量装置,通过设置驱动组件驱动内转盘转动,内转盘转动从而带动伸缩杆转动,伸缩杆转动从而带动套筒转动,套筒与螺杆螺纹连接使转动地套筒可沿螺杆的长度方向移动以带动称量传感器与籽晶杆移动,从而实现籽晶杆在提升的过程中旋转,提高温度场径向对称性,长处几何对称性的晶体,而且根据称量传感器所检测的重量信息,驱动组件驱动内转盘改变转速改变晶体的直径和提升速度以适应不同的要求。

基本信息
专利标题 :
一种用于晶体生长的称量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921252030.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-02
授权号 :
CN210529103U
授权日 :
2020-05-15
发明人 :
胡卫东杨利涛刘侃王冬
申请人 :
合肥嘉东光学股份有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区黄山路626号高新集团大楼318室
代理机构 :
合肥市长远专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄乐瑜
优先权 :
CN201921252030.6
主分类号 :
C30B15/28
IPC分类号 :
C30B15/28  C30B15/30  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
C30B15/22
被拉晶体附近熔融区的稳定化或形状控制;晶体截面的控制
C30B15/28
利用晶体或熔体重量变化的,例如浮称法
法律状态
2020-05-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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