本实用新型揭示一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，包括底板，所述底板顶部的右侧固定连接有蚀刻机主体，所述底板顶部的左侧设置有壳体，所述壳体的右侧贯穿至蚀刻机主体的内腔，所述壳体内腔的正面和背面均设置有驱动装置，所述壳体内腔的底部开设有滑槽。本实用新型通过设置底板、蚀刻机主体、壳体、驱动装置、滑槽、辅助装置、安装板、支架、固定柱和上料小车的相互配合，达到了物料车可以自动进出且运输时稳定等优点，解决了现有的垂直式等离子蚀刻机的上料装置，物料车无法自动进出且运输时不稳定的问题，提高了工作效率，可以满足人们的使用需求，提高了垂直式等离子蚀刻机的上料装置的实用性。