一种真空磁控溅射镀膜端头用离线检测装置
授权
摘要
本实用新型公开一种真空磁控溅射镀膜端头用离线检测装置，其包括驱动机构、平台、第一底座及第二底座，第一底座上设有第一旋转端头，第二底座上设有第二旋转端头，第一旋转端头包括第一上端头和第一下端头，第二旋转端头包括第二上端头和第二下端头，第一上端头和第二上端头内均设有内腔，第一上端头和第二上端头通过连接轴连接；第一底座上设有中心孔，驱动件穿过中心孔与第一上端头相转动连接，驱动机构驱动第一下端头转动，带动第一上端头的内腔沿自身轴线方向转动，进而带动第二上端头的内腔转动。本实用新型设计的检测装置不需真空环境，可提前发现问题，避免影响设备正常生产；操作简单，保证测试精度；检测不同尺寸的端头，具有通用性。
基本信息
专利标题 ：
一种真空磁控溅射镀膜端头用离线检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921297541.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-12
授权号 ：
CN210221358U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
张青涛俞亚军饶杰奎
申请人 ：
吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路869号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
吴芳
优先权 ：
CN201921297541.X
主分类号 ：
G01L3/00
IPC分类号 ：
G01L3/00 C23C14/35
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L3/00
转矩、功、机械功率、机械效率的一般计量
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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