一种真空镀膜设备
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摘要
本实用新型涉及一种真空镀膜设备，包括镀膜机；镀膜机底部设有出气管；出气管上设有第一连接套；第一连接套上设有第二连接套；第二连接套中设有顶盖，顶盖与第一连接套之间通过磁吸连接；第二连接套远离镀膜机一侧设有抽气管；抽气管远离第二连接套一侧设有真空泵；抽气管内靠近真空泵一侧设有第一过滤网；抽气管远离镀膜机一侧设有沉降组件；密封性良好，防止镀膜机内真空环境发生变化，保证镀膜过程的正常进行。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921464667.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-02
授权号 ：
CN210796605U
授权日 ：
2020-06-19
发明人 ：
王孟良梅艳红王孟仁高春玲陈卓梅洪蕾陈春奇许进周强孟健
申请人 ：
深圳天成真空技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区松岗街道潭头西部工业园区B35栋
代理机构 ：
深圳市多智汇新知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
鲁华
优先权 ：
CN201921464667.1
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/56
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-06-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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