一种真空镀膜设备
授权
摘要
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体是一种真空镀膜设备，包括真空仓体、底座、扩散泵、旋片泵、罗茨泵等组成。真空仓体置于底座上，通过管道和阀门连接至真空泵；真空仓体内部上方悬挂可放置产品的镀膜盘，镀膜盘上配有手柄以便放取方便；镀膜盘放置于旋转机构上，旋转机构由电机带动旋转；真空室内部装有离子源、电子枪和两套热蒸发源，本实用新型公开的一种真空镀膜设备，设有转盘连续旋转使基材与镀膜装置可以保持对应位置，确保镀膜均匀，设有分体式的放料架，方便快速更换上料，提高生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022166907.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN214004769U
授权日 ：
2021-08-20
发明人 ：
崔福顺林城来南相尽
申请人 ：
东莞法克泰光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市企石镇东山飞鹅南路1号
代理机构 ：
惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈文福
优先权 ：
CN202022166907.9
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/30 C23C14/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-08-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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