一种硅片缓存盒及分片机的运输装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种硅片缓存盒及分片机的硅片运输机构，该硅片缓存盒包括盒体、规整组件和风刀，盒体被配置为容纳硅片，规整组件包括驱动件和规整件，规整件为两个，两个规整件分别连接在盒体的相对两个侧壁上，驱动件被配置为驱动两个规整件朝向彼此的方向运动以规整硅片，风刀连接在盒体或者规整件上，风刀具有风孔，风孔被配置朝向硅片吹气。本实用新型的硅片缓存盒，由于在容纳硅片的盒体上设置了规整组件和风刀，在机械臂将硅片放置在盒体内后，规整组件能够规整硅片，风刀能够去除硅片上残留的水分，较好地避免了硅片歪斜及硅片打滑导致的硅片堵片或者碎片的现象。

基本信息

专利标题：

一种硅片缓存盒及分片机的运输装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921495238.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-09

授权号：

CN210403680U

授权日：

2020-04-24

发明人：

曹俊楠张建峰王森洪亚军朱文荣曹祥

申请人：

盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201921495238.0

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L21/677