本发明公开了一种硅片加工分片装置及其分片方法，涉及硅片加工技术领域，包括安装座和辅助组件，所述安装座左侧安装有水箱，且所述水箱内部安装有承托架，所述承托架外部安装有分片机构，所述承托架包括电动伸缩杆和拖物盘，且所述电动伸缩杆输出端连接有所述拖物盘。本发明通过采用多个组件之间的相互配合设置，不仅能够实现硅片的自动分片，不需要过多的人工参与，不仅能够提升工作效率同时还能够降低因操作不当导致的硅片破损，该分片装置在水中完成分片，有了水液的润滑进而能够有效降低硅片的破损率，减小其生产成本，并能够在分片的过程中能够自动检测硅片表面的完好程度，还能够自动将其分类导出，提升其自动化进程。