本发明提供一种硅片自动化分片装置，包括第一固定架、设置于第一固定架上的真空吸盘，所述真空吸盘的后侧、左侧、右侧的第一固定架上均设有吹气组件，所述真空吸盘上侧的第一固定架上固定有驱动电机，所述真空吸盘左右两侧均固定有驱动轮，所述电机的转轴上固定有导轮，所述导轮和驱动轮通过第一传送皮带转动连接，所述真空吸盘后侧第一固定架上还设有传送线从动轮，所述真空吸盘将设置于水池内的物料存储装置中叠起来的硅片吸起，通过驱动轮将物料传送到传送线从动轮上，其整体结构简单，分片效率高，且全部自动化，减少了人工。