一种用于刀具PVD真空镀膜的抽真空组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于刀具PVD真空镀膜的抽真空组件，涉及到真空镀膜装置领域，包括基板，所述基板的上方安装有外罩壳，所述基板的上表面固定安装有真空气泵，所述真空气泵的一侧连通有真空罐，所述真空罐的上方通过管道连接有真空罐入口，所述真空气泵的出气座通过管道连通有气体排出口，所述外罩壳的上表面设置有压力表，所述压力表的检测端密封插入真空罐内部。外罩壳的内壁表面固定设置有若干个消声管可以对噪音进行吸收且有效的降噪，使得真空气泵在工作中产生的噪音不会对厂区的工作人员进行干扰，使工作环境得到提升。
基本信息
专利标题 ：
一种用于刀具PVD真空镀膜的抽真空组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921583589.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
CN211112204U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
吴晓明
申请人 ：
海盐鑫中岳电子科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海盐县通元镇育才路西、兴通北路南
代理机构 ：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李伊飏
优先权 ：
CN201921583589.7
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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