玻璃腐蚀的复合掩膜结构
专利权的终止
摘要
本实用新型提供了一种玻璃腐蚀的复合掩膜结构，该玻璃腐蚀的复合掩膜结构包括：自玻璃基片依次设置的第一金属打底层、第一金属层、第二金属打底层、第二金属层以及光刻胶层；其中，所述第一金属打底层及所述第二金属打底层为金属Cr层；其中，所述第一金属层和所述第二金属层为金属Au或金属Cu。该玻璃腐蚀的复合掩膜结构能够提高玻璃腐蚀深度、掩膜与玻璃结合性好，同时可以避免多晶硅和单晶硅复杂的应力控制问题。
基本信息
专利标题 ：
玻璃腐蚀的复合掩膜结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921687755.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-10
授权号 ：
CN210635908U
授权日 ：
2020-05-29
发明人 ：
张照云唐彬刘显学熊壮李枚许蔚苏伟彭勃
申请人 ：
中国工程物理研究院电子工程研究所
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921687755.8
主分类号 ：
C03C15/00
IPC分类号 ：
C03C15/00 C03C17/38
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C15/00
纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理
法律状态
2021-09-17 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C03C 15/00
申请日 : 20191010
授权公告日 : 20200529
终止日期 : 20201010
申请日 : 20191010
授权公告日 : 20200529
终止日期 : 20201010
2020-05-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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