一种多管芯晶圆测试系统

授权

摘要

本实用新型属于晶圆检测设备技术领域，尤其为一种多管芯晶圆测试系统，包括主机，所述主机将工作信号通过所述信号发射器A发射到所述信号接收器A和所述信号接收器C上，所述信号接收器A将工作信号传递到所述测试机A上，所述信号接收器C将信号传递到测试机B上，所述测试机A和所述测试机B开始工作，所述操作机A中的所述编码器会将多管芯的位置编码传递到测试机A，所述测试机A将工作信号传递到操作机A上，所述测试机B将工作信号传递到所述操作机B上，所述测试机A会将接受到的编码经处理器发送到解码器上，解码后的位置信息会经处理器分析并下发相应测试动作命令，本实用新型具有一机多控的特点，充分提高了操作者的办事效率。

基本信息

专利标题：

一种多管芯晶圆测试系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921743780.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-17

授权号：

CN211086504U

授权日：

2020-07-24

发明人：

何海洋胡健峰彭强

申请人：

无锡市查奥微电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D座562室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921743780.3

主分类号：

G01R31/26

IPC分类号：

G01R31/26 G01R1/02