一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置

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摘要

为解决热蒸发法制钙钛矿薄膜覆盖率不均匀的问题，本实用新型提出一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，能显著提高钙钛矿薄膜的均匀程度，其具有条形主体，其特征在于：所述条形主体包括同圆心布局的半圆石英蒸发舟、加热器、绝缘环和热屏蔽罩，并且由内而外依次紧贴相接，所述半圆石英蒸发舟具有用于放置试剂的敞口腔体，于所述敞口腔体的开口上方设置有带孔修正网板，所述加热器为半圆钽加热器。

基本信息

专利标题：

一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921829937.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-29

授权号：

CN210778682U

授权日：

2020-06-16

发明人：

王武峰刘胜康彭勇徐俊王雷冲

申请人：

中山市武汉理工大学先进工程技术研究院;中山艾尚智同信息科技有限公司

申请人地址：

广东省中山市火炬开发区祥兴路6号数贸大厦北翼210房

代理机构：

中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

邹建平

优先权：

CN201921829937.4

主分类号：

H01L51/48

IPC分类号：

H01L51/48 C23C14/26