一种硅片加工用均胶机
授权
摘要
本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种硅片加工用均胶机，包括机体，所述机体的侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的端部连接有齿轮组，所述齿轮组的数量为两个，另一个所述齿轮组的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部转动连接有转动筒，所述转动筒的内壁固定安装有定位座。通过把手、主动轮与齿条之间的配合，使得限位夹可以移动不同的位置，当限位夹移动到最顶端时，更好将硅片夹持在吸盘的轴心处，使得吸盘在固定与旋转时，始终沿吸盘的轴心做圆周运动，一方面使得硅片保持均匀旋转，另一方面增加硅片在旋转时的稳定性，解决了手动放置偏移，吸气管吸力下降，无法稳定吸附硅片的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片加工用均胶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921919460.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-08
授权号 ：
CN212143285U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
陈建章
申请人 ：
徐州野马锂电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市丰县大学生创业园
代理机构 ：
南京聚匠知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈菊
优先权 ：
CN201921919460.9
主分类号 ：
B05C13/02
IPC分类号 ：
B05C13/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C13/00
操纵或夹持工件的方法，如对单个物体
B05C13/02
对特殊物品
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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