本实用新型公开了一种激光芯片老化处理设备及其芯片夹具，后者包括依次叠放连接的热忱板、金属层板、定位板和顶板，定位板上开设有芯片槽，芯片槽内以可移动的方式设置有拨板，芯片放置在芯片槽的内部时，拨板使得芯片的外表面抵靠在芯片槽的槽壁上。上述定位板上开设有与芯片形状相适配的芯片槽，芯片槽的尺寸大于芯片的尺寸，拨板可在芯片槽的内部移动，在进行芯片定位时，芯片被放置到芯片槽的内部，拨板与芯片的外表面相抵靠，并且推动芯片移动，使得芯片与芯片槽的槽壁相抵靠，此时，拨板朝向芯片的侧面和芯片槽与芯片接触的槽壁对芯片进行限位，实现对芯片在X轴方向和Y轴方向的限位，使得芯片定位准确，芯片的测试精度得到保证。