一种晶圆涂胶显影用抓取手臂
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆涂胶显影用抓取手臂，包括手臂本体，所述手臂本体上设置有一组晶圆放置槽；所述手臂本体的内设置有主吸气通道，主吸气通道连通有通向各晶圆放置槽下方的分支吸气通道，所述晶圆放置槽内设置有与分支吸气通道连通的吸气孔；所述主吸气通道的两侧分别设置有冷却气体进气口和冷却气体出气口，所述主吸气通道和分支吸气通道的周边设置有冷却腔。本实用新型结构简单，能够将手臂及时的冷却，保证晶圆在涂胶显影时不会受手臂过热的影响而造成涂胶、显影不均匀，从而提高晶圆的加工质量，可广泛应用于LED衬底制造领域。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆涂胶显影用抓取手臂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922027862.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-22
授权号 ：
CN210514933U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
徐良史伟言刘建哲李京波夏建白
申请人 ：
黄山博蓝特半导体科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省黄山市黄山九龙低碳经济园区翠薇北路66号
代理机构 ：
芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹宏筠
优先权 ：
CN201922027862.4
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16 G03F7/26 H01L21/683
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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