一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂，包括手臂本体，还包括两个与手臂本体滑动连接的调节座，所述调节座内设有真空通道，所述调节座上固定连接有球头座，所述球头座上固定连接有顶部、底部均为平面的球头，所述球头顶部固定连接有限位板，所述限位板上设有通孔，所述通孔向下延伸依次贯穿球头、球头座并与真空通道连通，所述球头外部可转动地套接有吸盘座，所述吸盘座可相对球头在一定范围内摆动，所述吸盘座顶部安装有吸盘，所述吸盘与通孔连通。本实用新型能够适应不同尺寸的晶圆及发生翘曲的晶圆。

基本信息

专利标题：

一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921626002.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-27

授权号：

CN210403691U

授权日：

2020-04-24

发明人：

唐阳明

申请人：

上海图双精密装备有限公司

申请人地址：

上海市青浦区华浦路500号6幢A区1层199室

代理机构：

上海汇齐专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

朱明福

优先权：

CN201921626002.6

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683