一种旋转靶材节缝清理装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种旋转靶材节缝清理装置，包括丝杆支架、丝杆、螺母、伸缩刀组件、丝杆驱动电机、支撑管、管支架、管驱动电机和驱动轮，所述丝杆的两端通过轴承分别安装在丝杆支架上，螺母安装在丝杆上并与丝杆通过螺纹连接，伸缩刀组件连接在螺母的底部，所述支撑管的两端分别通过滚珠安装在管支架上，所述驱动轮安装在管驱动电机的输出轴上，驱动轮与支撑管的一端摩擦连接，所述支撑管位于伸缩刀组件下方。本实用新型能够有效清理旋转靶材节缝内的杂物，与现有人工清理的方式相比，既保证了的品质量，又降低了工人劳动强度，提高生产效率，解决了现有旋转靶材节缝难以清理的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转靶材节缝清理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922028574.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-21
授权号 ：
CN211036080U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
陈标刘所心马超宁段宇龙
申请人 ：
广西晶联光电材料有限责任公司
申请人地址 ：
广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号
代理机构 ：
柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
韦微
优先权 ：
CN201922028574.0
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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