一种芯片生产用清洁装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种芯片生产用清洁装置，涉及芯片生产技术领域，针对现有的芯片生产用清洁装置如超声波清洗机在清洗芯片晶圆时，芯片晶圆上的残留水不易快速清除，且芯片晶圆在清洗机内不易分类限位放置，而芯片晶圆与放置装置之间的接触面积较大，也会影响对芯片晶圆的清洗效率的问题，现提出如下方案，包括清洗机主体，所述清洗机主体的内部转动连接有盛物网，所述盛物网的上表面分布固定连接有若干个芯片晶圆放置盘。本实用新型通过盛物网的设计，便于对芯片晶圆的放置，减少芯片晶圆与放置装置之间的接触面积，从而增加对芯片晶圆的清洗程度，通过芯片晶圆放置盘的设计，便于对芯片晶圆的限位放置。
基本信息
专利标题 ：
一种芯片生产用清洁装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922149552.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-04
授权号 ：
CN211802736U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
沈晓亮韩泉栋高兴龙吕笑天沈彩平
申请人 ：
合肥泽延微电子有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区望江西路800号合肥创新产业园A1楼507室
代理机构 ：
合肥律众知识产权代理有限公司
代理人 ：
马文峰
优先权 ：
CN201922149552.X
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67 H01L21/673
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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