一种基于高质量无规则晶棒的搬运系统
授权
摘要
本实用新型创造提供了一种基于高质量无规则晶棒的搬运系统，所述搬运装置包括移动架、以及移动架上设置的升降机构；所述升降机构包括移动架上设置的升降架、以及用于驱动升降架升降的驱动组件，所述升降架上间隔设有数个用于搬运晶棒的搬运叉，每一所述搬运叉上均设有用于限制晶棒移动的限位槽；所述移动架上对应搬运叉下方的位置设有用于定位晶棒的定位机构。本实用新型创造结构简单，易于使用，可以实现多种不规则晶棒的高效转运，并且晶棒在转运过程中不易发生损坏，大大提高了晶棒转运的效率和安全性；通过使用配套的移动架和托盘架，操作人员通过简单操作即可实现移动架和托盘架的快速对接，大大提高了晶棒的搬运效率。
基本信息
专利标题 ：
一种基于高质量无规则晶棒的搬运系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922218493.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-11
授权号 ：
CN211277946U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
张丰张淳王彦君孙晨光
申请人 ：
中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道
代理机构 ：
天津滨海科纬知识产权代理有限公司
代理人 ：
耿树志
优先权 ：
CN201922218493.7
主分类号 ：
B24B41/00
IPC分类号 ：
B24B41/00 B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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