一种侧放硅片花篮
授权
摘要
本实用新型公开了一种侧放硅片花篮，属于硅片生产设备技术领域。它包括端板、底杆、侧板，两块平行的端板底部之间通过两根底杆连接固定，端板两侧分别固定有一块侧板，所述侧板一面设有多个用于放置硅片的齿槽，两块侧板呈倒八字型固定在两块端板之间，两块侧板之间夹角为90°，硅片的一个角放入两块侧板对应的齿槽之间。本硅片花篮轻便小巧，不同于正放硅片的花篮，它采用倾斜设置的一对侧板，将硅片一角放入两倾斜侧板之间，硅片一角处于最下方，清洗完后，清洗液便于从硅片最底角流下，最后晾干时，不易出现清洗液污染硅片整条边的现象。
基本信息
专利标题 ：
一种侧放硅片花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922219490.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-06
授权号 ：
CN210668308U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
朱元河
申请人 ：
上海嘉氟新材料科技有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区泖港镇五厍工业区西厍路20号
代理机构 ：
上海浙晟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨小双
优先权 ：
CN201922219490.5
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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