一种单多晶硅棒自动粘棒系统

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型属于硅棒加工技术领域，特别涉及一种单多晶硅棒自动粘棒系统，包括粘胶平台单元和六轴机器人单元。所述粘胶平台单元一侧设有板材输送单元和晶棒输送单元；所述粘胶平台单元远离所述板材输送单元一侧设有晶托输送单元和工装输送单元；所述工装输送单元远离所述晶托输送单元一侧设有半成品加压固化单元；所述板材输送单元一侧设有成品工装分离单元和成品加压固化单元。本实用新型提升硅片工厂自动化水平，解决粘棒自动化，梳理现场人流、物流，提高生产效率，减少人为因素造成的损耗，降低企业生产成本。

基本信息

专利标题：

一种单多晶硅棒自动粘棒系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922283332.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-18

授权号：

CN211306982U

授权日：

2020-08-21

发明人：

朱佰庆仇健李璐王鹏李贤东

申请人：

青岛高测科技股份有限公司

申请人地址：

山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号

代理机构：

北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

郭智

优先权：

CN201922283332.6

主分类号：

B28D5/00

IPC分类号：

B28D5/00 B28D7/00 B28D7/04